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該型設備針對鋰電池檢漏過程中所排空處理的低濃度廢氦氣進行提純并提供循環利用。該設備可將檢漏后排氣管道排放的純度約30~70%的廢氦氣進行回收,并將廢氦氣在線提純至99%及以上,通過管路輸送到設備供氣管道再次使用,以減少生產線氦氣的使用量。